반도체 장비 전문기업 글로벌스탠다드테크놀로지(GST)가 친환경 CO₂ 칠러 신제품의 첫 출하를 시작했다고 6일 밝혔다.
회사 측에 따르면 이번 납품은 지난 8월 미국에 본사를 둔 글로벌 반도체 제조사로부터 수주한 물량의 첫 번째 공급 건이다.
GST가 공급하는 이 CO₂ 칠러는 지구온난화지수(GWP)가 1에 불과한 CO₂를 냉매로 사용한 것이 특징이다. 기존 냉동기식 칠러 대비 탄소 배출량을 99% 이상 획기적으로 절감시켜, 날로 강화되는 미국 및 유럽연합(EU)의 환경 규제에 효과적으로 대응할 수 있는 대안으로 주목받고 있다. 업계에 따르면, 첫 발주를 진행한 미국 기업은 이미 추가 물량 발주를 진행했으며, 다른 글로벌 반도체 기업들도 CO₂ 칠러 도입을 긍정적으로 검토 중인 것으로 알려졌다.
최근 글로벌 반도체 기업들은 RE100 추진과 Scope3(공급망 탄소배출량) 감축 목표 달성 등 친환경 공정 구축에 집중하고 있다. 이러한 목표에는 사용 장비의 탄소배출량 감축까지도 포함된다.
GST 관계자는 “친환경 전환이라는 산업 트랜드 변화를 미리 감지하고, 연구개발에 집중했기 때문에 적시에 CO2칠러 기술 내재화에 성공할 수 있었다"며 “이번 출하를 레퍼런스로 활용하여 향후 국내외 고객사를 대상으로 적극적인 마케팅을 펼칠 게획이다"고 말했다.
GST는 반도체 및 디스플레이 제조과정에서 배출되는 부식성 가스를 정화하는 스크러버와, 공정 장비의 챔버 온도를 최적의 조건으로 조절하는 칠러를 주요 사업으로 전개해 왔다. 이번 CO₂ 칠러 출하를 계기로 GST는 타 경쟁사보다 앞서 CO₂ 칠러 시장을 선점하며, 뚜렷한 우위를 확보한 모양새다. 이를 통해 글로벌 반도체 장비 산업에서 친환경 기술 선도 기업으로서의 입지를 한층 강화할 것으로 기대된다.








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