신성이엔지, 반도체 대전서 클린룸장비 선봬

▲지난해 열린 제24회 반도체 대전(SEDEX 2022)‘에 참가한 신성이엔지 부스 모습. 신성이엔지

[에너지경제신문 이원희 기자] 신성이엔지가 반도체 제조 공간인 클린룸 주요 장비를 선보인다.

신성이엔지는 오는 27일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 ‘제25회 반도체 대전(SEDEX2023)’에 참가한다고 26일 밝혔다.

지난 1977년 설립된 신성이엔지는 반도체 클린룸 분야를 선도해온 기업이다. 지난 1991년 국내 최초로 클린룸 주요 장비인 ‘FFU’를 국산화했다. 클린룸은 반도체·디스플레이 등이 제조되는 고청정공간을 말한다.

전시회에서는 FFU외에도 △기류 연동 시스템 △휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) △핸디형 미립자 가시화 시스템 등이 소개된다.두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발, FAB 내 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다.

이영일 신성이엔지 부사장은 "전시회를 통해 반도체 클린룸과 더불어 이차전지 드라이룸제습 장비 및 기술을 소개할 수 있어 기쁘다"며 "지속적인 연구개발을 통해첨단사업에서 제품 생산에 필요한 최적의 환경을 만들고, 관련 산업 성장을 이끌 수 있도록 하겠다"고 덧붙였다.


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